Sistem automat de depunere chimică din fază de vapori pentru producția de nanomateriale bidimensionale
Project Director: Dr. Alin VELEA
Proiect: 11PED din 03/01/2025 (PN-IV-P7-7.1-PED-2024-2412)
Contractant: Institutul Național de Cerctare-Dezvoltare pentru Fizica Materialelor (INCDFM)
Director proiect: Dr. Alin Velea
Tip proiect: Program 5.7 - Parteneriat pentru Inovare, Subprogram 5.7.1 - Proiect Experimental Demonstrativ (PED)
Data începerii: 03/01/2025
Data finalizării: 31/12/2026
Autoritate contractantă: UEFISCDI
Rezumat proiect:
Un sistem de depunere chimică în fază de vapori (CVD), cu un cost scăzut, va fi proiectat, construit și automatizat în cadrul acestui proiect. Acest sistem CVD va produce materiale 2D precum grafene şi dicalcogenuri ale metalelor de tranziție de calitate superioară, comparabilă cu aceea a echipamentelor foarte scumpe. Sistemul va fi capabil atât de depuneri la presiuni atmosferice, cât și la presiuni joase, temperaturi de creștere până la 1100 - 1200 ˚C și substraturi de până la 20 mm lățime. În plus, cu ajutorul înregistrării detaliate a parametrilor și a rețetelor, creșterile anterioare vor putea fi verificate rapid pentru eventuale probleme sau repetate, permițând depanarea rapidă a sistemului și repetabilitatea ridicată a procesului. Așa cum este proiectat, adică cu o structura modulară, sistemul are avantajul de a fi ușor de extins și adaptat nevoilor specifice, înlesnind creativitatea şi inovarea. Software-ul de automatizare va fi conceput pentru a fi simplu și intuitiv, permițând depuneri cu modificări minime ale variabilelor procesului.
Impactul proiectului, din perspectivă economică, constă în faptul că acesta are potențialul de a fi un produs unic pe piața din România, util atât în mediul științific cât și în mediul industrial, contribuind la accelerarea şi îmbunătăţirea procesului de descoperire de materiale funcționale avansate cu proprietăți specifice care au un impact semnificativ în industria semiconductorilor.
Coordonator: Institutul Național de Cerctare-Dezvoltare pentru Fizica Materialelor (INCDFM) - Dr. Alin Velea
Partener: Phanos Technology SRL – Dr. Dan Nicolae Becherescu Barbu
Dr. Alin Velea - alin.velea@infim.ro
PROJECTS/ PROIECTE NATIONALE
Copyright © 2025 National Institute of Materials Physics. All Rights Reserved